年产5千片碳化硅功率器件等分立半导体器件，中科汉韵进入设备安装调试阶段

集微网消息，据徐州新闻报道，日前，中科汉韵半导体有限公司（简称“中科汉韵”）设备陆续进场安装调试，明年5月全面达产后，将年产5000片碳化硅功率器件等分立半导体器件。

图片来源：徐州新闻

此外，中科汉韵董事长袁述表示，设备在陆陆续续的安装中，从光刻机到薄膜，到刻蚀化学腐蚀离子注入等等，都是比较先进的。大概到明年二月底之前希望能够全部进来安装。

据了解，中科汉韵二期项目计划2021年开始实施，全新配置6寸工艺线，将成为国内首家规模化生产碳化硅MOSFET芯片和模块的企业。

中科汉韵成立于2019年1月，位于江苏徐州经济技术开发区，是由中国科学院微电子研究所和徐州中科芯韵半导体产业投资基金共同在徐州投资的半导体芯片企业。

据介绍，公司聚焦于第3代半导体碳化硅MOSFET芯片和模块的研发、生产和销售，定位于电动汽车、数据中心、机器人等新基建用碳化硅器件核心技术的跟踪、创新和技术引领。一期配置4寸工艺线，年产5000片碳化硅功率器件等分立半导体器件。（校对/妮儿）