北方华创、赛微电子等组建，北京一工程研究中心获批，涉及先进MEMS工艺研发

作者：施旭颖 2021-08-05

来源：爱集微 #北京# #MEMS#

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集微网消息，近日，由北京海创微芯科技有限公司牵头，联合北京赛莱克斯国际科技有限公司、北方华创微电子装备有限公司、北京中科赛微电子科技有限公司组建的先进MEMS工艺设计与服务北京市工程研究中心正式获得北京市发改委批复。

该中心针对我国MEMS工艺制造起步晚、能力不足的瓶颈问题，联合产业链上下游企业和科研院所等机构，围绕MEMS器件制造关键工艺和工程化实现的核心技术，将通过搭建先进MEMS工艺研发体系、打造中试公共服务中心、引进吸收国际先进MEMS代工技术、培养MEMS工艺和设备制造人才等路径来填补产业创新各环节间的脱节与断层，形成有效的自主创新机制，形成产品需求到能力建设再到推动行业发展的良性循环，吸引一批MEMS产品设计公司在北京聚集，实现6英寸MEMS产品中试到8英寸MEMS产品量产的连贯衔接，整合各方资源协同发展北京市智能传感器千亿级产业。（校对/若冰）