据外媒报道,欧盟“石墨烯旗舰”研究专项衍生的石墨烯微电子器件中试线2D-EPL于近期启动运行。
报道显示,该试验产线投资约2000万欧元,旨在使用半导体制造设备,为相关科研机构和企业摸索石墨烯电子元器件生产工艺、开发关键工具和材料提供平台,爱思强、IMEC等欧洲地区机构参与了该产线建设。
报道称,首次启用的产线基于石墨烯场效应晶体管 (GFET)工艺,先期将开展生物传感器、霍尔传感器等器件研发,参与机构需基于工艺设计套件 (PDK) 完成设计,流片成本由2D-EPL运营方分担,可大幅降低原型开发的经济负担。(校对/乐川)