招标平台信息显示，9月14日，上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目公布一项中标结果公告，中标人为上海中科飞测半导体科技有限公司，标的物为3台微粒测量设备。
中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。
目前，中科飞测产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线。（校对/赵碧莹）
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