10月19日,屹唐半导体集成电路装备研发制造服务中心项目(主厂房等10项)等离子水洗式废弃处理器(LocalScubber)采购项目公开招标,项目预算800万元。
图源:中国招标公共服务平台
据悉,屹唐半导体主要从事集成电路制造中半导体晶圆处理设备的研发、生产和销售,主要为全球半导体芯片制造厂商提供干法去胶、干法刻蚀、快速热处理、毫秒级快速退火等设备及应用方案。
目前,屹唐半导体在中国北京、美国硅谷、德国多恩施塔特共有3座工厂,北京工厂于2018年建成投产,具备干法去胶设备、快速热退火设备、干法刻蚀设备生产能力。(校对/韩秀荣)