心芯相连半导体项目上海临港研发制造中心开工

作者：韩秀荣 2023-02-08

来源：爱集微 #心芯相连#

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2月6日，心芯相连半导体先进铜互连设备研发项目临港研发制造中心（以下简称“心芯相连项目”）开工。

上海临港消息显示，上海心芯相连半导体技术有限公司是由新阳硅密、远致星火、上海新阳共同打造的半导体高端制造设备与工艺一体的核心供应商，专注于前道大马士革金属互联工艺的开发，旨在通过自主研发打破长期国外技术壁垒，填补国内半导体先进制成电镀设备空白，完善国产化半导体装备供应产业链。（校对/赵碧莹）

责编：赵碧莹

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