绿菱气体2月19日消息显示，龙年新春伊始，天津绿菱气体公司又接到好消息——绿菱气体的高纯溴化氢产品通过了华力微、华虹宏力等认证，即将开始批量供应。
据介绍，高纯溴化氢（HBr）作为半导体掺磷的n型多晶硅、掺磷的单晶硅或者二维半导体的刻蚀气体，是氟碳类气体替代产品的首选，其主要应用于8寸及12寸芯片制造工艺中的多晶硅刻蚀，是芯片先进制程的核心气体之一。2023年之前，国内HBr市场长期被进口产品垄断。
绿菱气体指出，其生产的HBr已经通过长江存储、中芯国际、华虹宏力、华力微、华力集、青岛芯恩、芯联集成等企业认证，并实现稳定供应。同时，另有多家国内知名晶圆厂正在对绿菱的HBr进行验证，预计2024年度开始批量供货。至此，绿菱气体已成功完成高纯HBr的国产替代，为国内半导体终端用户提供可靠的原料支持。
绿菱气体天津南港新厂实现批量生产，将具备年产300吨高纯HBr的能力。
据悉，绿菱气体自2001年成立以来，致力于为集成电路、平板显示、半导体照明、光伏电池材料以及光纤等行业提供各种高纯度特种气体产品与服务，先后在天津、平顶山等地建立了生产基地，主要生产电子级C2F6、C4F8、CF4、CH2F2、N2O、COS等特种气体产品。（校对/韩秀荣）
