据媒体报道,当地时间4月5日,美国、欧盟在“贸易与技术委员会会议”后发布联合声明,其中提及持续开展研究氟烷基化合物(PFAS)的替代品引发关注。
报道指出,美国SIA发起PFAS Consortium,针对PFAS在半导体制程中的使用及其重要性、潜在的排放途径,以及若限制PFAS使用可能造成的冲击进行研究。
就欧盟拟严管PFAS相关化学品一事,半导体级材料服务商华立、崇越分别指出“估计影响有限”。崇越认为,PFAS对公司影响不大,另外已有开发替代PFAS的产品;华立说,其销售的化学品未含有此成分,若未来客户也关心该议题,会逐一请供应商提供所有品项的成分表。
此外,台积电也在2018年对外宣布全面替代全氟辛酸相关物质,应对长链PFAS中的全氟辛酸(PFOA)积极推行PFOA相关物质替代计划。当时台积电在ESG电子报指出,公司已采取积极防范作为。