北方华创“电源控制方法和装置、半导体工艺设备”专利公布

集微网消息，天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“电源控制方法和装置、半导体工艺设备”专利公布，申请公布日为2024年4月5日，申请公布号为CN117832051A。

本发明提供一种电源控制方法和装置、半导体工艺设备，包括：开启待控电源；待控电源为上电极电源或者下电极电源；获取待控电源的反射功率信息；基于反射功率信息，获得保持待控电源开启的第一补偿时长；将待控电源的开启时长更新为设定开启时长与第一补偿时长之和；在到达更新后的待控电源的开启时长时，关闭待控电源。本发明提供的电源控制方法和装置、半导体工艺设备，可以提高晶圆间刻蚀的一致性，同时可以避免刻蚀量不足，提高产品良率。