华瑞微“一种用于集成电路生产线的离子注入机”专利获授权

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天眼查显示,滁州华瑞微电子科技有限公司近日取得一项名为“一种用于集成电路生产线的离子注入机”的专利,授权公告号为CN117594405B,授权公告日为2024年5月17日,申请日为2023年11月20日。

本申请公开了一种用于集成电路生产线的离子注入机,涉及半导体加工设备技术领域,包括支撑框架、离子注入机构、照射箱组件、扰流机构,还包括吸尘除尘组件;通过对现有技术中的离子注入机的照射箱组件的结构进行优化改进,在其内增设吸尘除尘组件,利用外涂有不干胶的弹性膜配合扰流机构吸附散落在箱体内的灰尘;实现了用于集成电路生产线的离子注入机在加工电路板时照射箱内的颗粒物较少且不易侵入到离子的照射路径上的技术效果。

责编: 赵碧莹
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