天眼查显示,苏州联讯仪器股份有限公司近日取得一项名为“一种晶圆测试夹具”的专利,授权公告号为CN221405765U,授权公告日为2024年7月23日,申请日为2023年10月31日。
本实用新型提供了一种晶圆测试夹具,涉及晶圆测试技术领域。本实用新型中结构板限定有安装孔,PCB板设置在结构板的下方,且与结构板连接,上保压盖设置在安装孔内,且位于PCB板的上方,上保压盖与结构板和PCB板均相连,热沉结构设置在PCB板的下方,且与PCB板和上保压盖连接,热沉结构的顶部设有用于安装晶圆的第一安装腔,探针板位于第一安装腔内,且与PCB板连接,探针板具有多个探针,多个探针与晶圆接触。由于晶圆测试夹具结构较多且比较复杂,所以在结构板上设置间隔开布置的多个第一减重槽,相邻两个第一减重槽之间设有第一加强筋,与直接开设一个大的减重槽的技术方案相比,即可以减轻晶圆测试夹具的重量,又可以确保晶圆测试夹具的强度。
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