中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）8月16日宣布，已向美国法院正式提交诉状，起诉美国国防部将其列入中国军事企业清单（简称“CMC清单”）的决定。
美国时间1月31日，美国国防部根据《2021财年国防授权法案》第1260H条，将中微公司列入CMC清单。中微公司坚信，美国国防部将中微公司列入CMC清单的决定是错误的，不符合事实，没有法律依据，且违背了程序正当，给中微公司的声誉造成严重影响。
中微公司表示，自被列入CMC清单以来，中微公司竭尽所能积极地同美国国防部进行沟通、澄清事实，提供了充分的证据证明其不符合CMC清单的认定标准，并要求其将中微公司从CMC清单中移除。然而，遗憾的是，截至正式起诉之日，中微公司仍未如愿。因此，中微公司不得不采取法律途径，请求法院要求美国国防部撤销其错误决定，以消除误解，维护中微公司合法权益，并保障中微公司股东、客户及合作伙伴的利益。
中微公司表示，一贯坚持合法、合规经营，严格遵守国内和国际法律法规，从未参与任何与军事相关的活动。在2021年1月14日（美国东部时间），美国国防部曾将中微公司列入中国军事企业清单。经中微公司以充分的事实和证据向美国国防部申诉后，同年6月3日（美国时间）中微公司成功地被移除此清单。
中微公司董事长兼总经理尹志尧表示：“我们对美国国防部将中微公司再次列入涉军清单深表震惊。这一决定是错误的，是毫无根据的。我们相信法院会作出一个公正的裁决，将中微公司从CMC清单中移除。同时，我们也愿意继续与美国国防部保持沟通，友好妥善地解决所存在的争议。”
公开资料显示，中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户先进工艺的众多刻蚀应用，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据优势地位。
