已开发超18个月!韩华 Momentum计划推出晶圆OHT

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据媒体当地时间8月21日报道,Hanwha Momentum 计划推出高架起重机运输机 (OHT),用于在芯片生产过程中运输晶圆。

该公司周二向金融部门提交的最新文件中透露,自去年 2 月以来该公司一直在开发该设备。Hanwha Momentum表示,其已于5月完成OHT所需的装载港模块和设备前端模块的开发。

今年 7 月,Hanwha Momentum 从韩华集团分离出,韩华集团拥有其100% 的股份。

责编: 张轶群
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