今日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）发布了对外投资设立全资子公司的公告。公告显示，中微公司拟在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。中微公司表示，该项目的实施将有助于公司扩展集成电路设备业务范围，增强研发能力和扩大产能，巩固公司在高端半导体设备领域的优势地位。
据了解，中微半导体设备（成都）有限公司的注册资本为1亿元，中微公司将在2025年至2030年期间投资约30.5亿元，用于该公司在成都市高新区建设研发中心、生产制造基地、办公用房及附属配套设施，配备先进的自动化生产线和高精度检测设备，满足量产需求。此外，该公司将积极推动公司上下游供应链企业落户成都高新区，推动形成半导体高端装备产业链集群。
中微半导体设备（成都）有限公司作为中微公司的西南总部项目，将面向高端逻辑及存储芯片，开展化学气相沉积设备、原子层沉积设备及其他关键设备的研发和生产工作。公司将在设立后，加强与成都高校和科研院所等的合作，通过联合研发、创新人才培养等形式，推动产学研一体化，提升区域科技创新能力。
中微公司表示，该项目计划于2025年启动建设，2027年正式投入生产。预计到2030年，中微半导体设备（成都）有限公司的年销售额将达到10亿元，助力区域性半导体产业链的升级。
