精测半导体“理论光谱数据优化方法及测量方法”专利公布

据天眼查显示，上海精测半导体技术有限公司“理论光谱数据优化方法及测量方法”专利公布，申请公布日为2024年12月31日，申请公布号为CN119227380A。

本公开提供了一种理论光谱数据优化方法及测量方法，其中理论光谱数据优化方法能够在获取收敛级次对集合的情况下，通过获取每个收敛级次对对应的灵敏度，并根据灵敏度对于收敛级次对集合进行筛选以获得优化级次对集合，根据优化级次对集合获取对应的理论光谱数据。本公开通过灵敏度表征了级次对的傅里叶系数的改变量对于理论光谱数据的改变量的影响，灵敏度的数值越小，说明对应级次对的傅里叶系数的改变量对于理论光谱数据的影响越小，对应级次对在理论光谱数据的计算过程中越不可或缺。由于优化级次对集合中的级次对个数相较收敛级次对集合中的级次对个数更少，利用优化级次对集合能够提高理论光谱数据的计算效率。