稀土原子“点石成晶”!南大-苏州实验室联合成果登上Science

来源:南京大学集成电路学院 #二维# #单晶# #MOCVD#
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南京大学/苏州实验室王欣然教授、李涛涛副教授团队与合作者通过稀土原子对蓝宝石衬底表面修饰,在国际上率先突破6英寸二维过渡金属硫族化合物半导体(以下简称二维半导体)单晶量产化制备技术。相关成果以“Robust epitaxy of single-crystal transition-metal dichalcogenides on lanthanum-passivated sapphire”为题,发表于Science期刊。

研究背景

二维半导体具有原子级厚度,能有效降低晶体管功耗,实现三维