据国调基金消息,近日,诚通基金管理的国调基金完成对青岛思锐智能科技股份有限公司(以下简称 “思锐智能”)的战略投资。此次投资是国调基金贯彻国家集成电路产业发展战略,加快破解半导体核心设备 “卡脖子” 难题的一项重要举措,助于进一步推动半导体设备国产化进程、强化产业链和供应链安全。
思锐智能作为半导体前道工艺核心设备领域的重点企业,在原子层沉积(ALD)、离子注入(IMP)设备研发与产业化方面成果显著,其 ALD 设备成功实现了从科研型设备向工业型设备、从非半导体设备向半导体设备的“双转型”。思锐智能目前已建立完善的ALD产品体系,业务范围覆盖全球40个国家及地区,在众多细分领域取得了领先的市场竞争地位,尤其是离子注入机于2023年实现全国首台8MeV高能离子注入机的研发和生产,并已获得国内头部客户验证,各项技术指标对标国际先进机台水平,打破了欧美企业的长期垄断,填补了国内空白。目前,思锐智能已完成包括高能离子注入机、大束流离子注入机、中束流离子注入机及SiC离子注入机的全系列离子注入机型的布局和量产,广泛应用于CIS、存储、射频等高端领域。
今年6月27日,思锐智能半导体先进装备研发制造中心落成投产仪式在青岛自贸片区隆重举行,该中心的投产填补了青岛在半导体核心装备领域的空白。该项目从建设到投产仅用一年时间,该中心的正式运营,标志着思锐智能完成了从技术研发到规模化量产的完整产业能力建设,使公司具备了满足国内外客户多样化需求的产业化保障能力。