近日，南京市重大科技专项立项名单正式揭晓，南京市创投集团直投企业江苏福拉特半导体设备有限公司（以下简称“福拉特”）申报的“面向12寸晶圆的高可靠性集成式边缘精密加工与智能检测装备研发及产业化”项目成功获批。
（来源：南京市创投集团）
南京市重大科技专项作为推动区域关键核心技术突破、培育新质生产力的重要载体，聚焦战略性新兴产业发展需求，重点支持具备核心竞争力的创新企业攻关“卡脖子”技术。
此次福拉特获批的项目，针对12寸晶圆边缘精密加工领域长期受国外技术垄断的痛点，攻克超精密机械平台与多轴协同系统研制、集成式智能检测与感知系统开发、智能工艺控制与优化引擎构建等关键科学问题。该项目研发的集成式边缘精密加工与智能检测装备，将以更高的精度和稳定性有效支撑5nm及以下先进制程，打破国外企业的技术壁垒。
福拉特成立于2019年3月，核心聚焦于半导体与泛半导体湿法制程高端装备的国产替代，主打单片湿法设备、槽式湿法设备、Micro-OLED 量产 MASKCLEAN 设备等产品，拥有多项国内首创及全球首创技术，累计持有超百项专利与软件著作权，其设备技术水平国内领先，部分产品打破国外垄断。目前，公司正依托融资加速研发、量产与基地扩建，致力于通过科技创新推动我国半导体显示装备产业升级。
2025年4月，南京市创投集团、新港高投、东方产融联合投资福拉特数千万元。
