世界光刻机巨头ASML亮相第三届进博会。由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机,所以此次展示的是其DUV光刻机。
ASML此次也带来了其整体光刻解决方案,包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术,让边缘定位精度不断提高。
在这之前,ASML CFO Roger Dassen在财报会议的视频采访中谈到了与中芯国际等中国客户的业务情况。
Roger Dassen指出,ASML了解美国当局目前的规章制度及其解释,当然也知道这些与特定的中国客户密切相关,但如果广泛的来理解其规章制度对ASML的总体含义(对于特定的中国客户),则意味着ASML将能够从荷兰向这些中国客户提供DUV光刻系统,且无需出口许可证。
根据ASML发布的财报,2020年第三季度ASML光刻机净销售额达31亿欧元,中国大陆市场的营收占到21%。第三季度ASML总计净销售额达到约40亿欧元,净收入近11亿欧元。值得一提的是,EUV光刻机的收入占比极高,贡献了66%的光刻机销售额。
今年5月,ASML与无锡高新区签署了战略合作协议,在无锡高新区内扩建升级阿斯麦光刻设备技术服务(无锡)基地。此前,ASML已在北京、上海、深圳、无锡等地开设分公司,为客户提供服务和咨询,其中深圳是其在亚洲最大的软件研发中心。(校对/七七)