2026年10月20日,陕西电子芯业时代科技有限公司就8吋金属刻蚀设备采购项目(二次)正式发布中标结果公告。
本次项目编号为0722-264YDZB15ZB2,由中国远东国际招标有限公司担任招标机构,开标于2026年10月12日完成,公示期为2026年10月16日13:51至2026年10月19日23:59。本次确定的中标人为上海邦芯半导体科技有限公司,设备制造商同为该公司,属中国本土制造。
本次采购标的为1套全新8吋金属刻蚀设备,将用于8吋线干法刻蚀工序,服务于半导体集成电路8吋硅片制造流程中的金属刻蚀工艺。该设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体,可实现特定区域金属膜层的去除,主要适用于8吋IC、Power、SiC等领域的Al Line、Al Pad、W刻蚀工艺。