8吋次常压硼磷掺杂二氧化硅沉积设备二次采购项目中标结果正式公布

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2026年10月20日,陕西电子芯业时代科技有限公司就8吋次常压硼磷掺杂二氧化硅沉积设备采购项目(二次)正式发布中标结果公告。

本次项目编号为0722-264YDZB16ZB2/02,由中国远东国际招标有限公司担任招标机构,开标于2026年10月13日,前期公示时间为2026年10月16日13:56至2026年10月19日23:59。

本次招标02包采购内容为1套全新8吋次常压二氧化硅沉积设备,将用于8吋线次常压硼磷掺杂二氧化硅膜沉积工艺(SABPSG),该工艺的BPSG膜主要采用SACVD工艺制备。中标方为盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司,该企业同时为本次采购设备的制造商,注册地为中国。

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