2026年10月20日,陕西电子芯业时代科技有限公司就8吋次常压硼磷掺杂二氧化硅沉积设备采购项目(二次)正式发布中标结果公告。
本次项目编号为0722-264YDZB16ZB2/02,由中国远东国际招标有限公司担任招标机构,开标于2026年10月13日,前期公示时间为2026年10月16日13:56至2026年10月19日23:59。
本次招标02包采购内容为1套全新8吋次常压二氧化硅沉积设备,将用于8吋线次常压硼磷掺杂二氧化硅膜沉积工艺(SABPSG),该工艺的BPSG膜主要采用SACVD工艺制备。中标方为盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司,该企业同时为本次采购设备的制造商,注册地为中国。