四大激光技术,武装半导体工业
激光技巧自身世以来,受到了普遍的存眷,并慢慢拓展了其利用范畴。激光技巧给制功课带来了基天性变动:在航天工业中,铝合金用激光焊接的胜利利用是飞机制功课的一次技巧年夜革命。在汽车工业中,激光加工技巧优化了汽车构造,前进了汽车机能,下降了耗油量。激光精加工和微加工不单匆匆进了微电子工业的成长,也为半导体系体例作行业供给了有利前提。激光加工技巧属于非接触性加工法子,以是不产活力械挤压或机器应力,特殊切合半导体行业的加工哀求。因为激光加工技巧的高效力、无污染、高精度、热影响区小,是以在半导体工业中获得普遍利用。
激光加工技巧在划片和割圆方面的利用 激光加工技巧在划片方面有着普遍利用。今朝行业内最多的激光划片技巧都是由激光直接感化于晶圆切割道的外貌,激光的能量使得被感化外貌的物资离开,从而到达去除和切割的目标。近期日本推出的全新观点的激光划片机摒弃了传统的外貌直接感化的做法,而采纳感化于硅基底内的硅晶体,毁坏其单晶构造的技巧,在硅基底内发生易分手的变形层,然后经由过程后续的崩片工艺使芯片间彼此分手。从而到达了无应力、无崩边、无热毁伤、无污染、无水化的切割后果。 跟着科技的不绝成长,激光加工技巧还被一些厂家利用到晶片割圆工序,加上成熟的软件把持,可以在一个晶片上加工出许多小直径晶片。较传统的割圆加工方式而言,如许操尴尬刁难晶片造成的毁伤较小,出片量相对较多。 即将在2011年3月15-17日于上海新国际博览中间┞焚开的慕尼黑上海激光、光电展上,E3、E4馆的激光加工装备展区将浮现具有必然范围的激光加工财富群,行业内各年夜高端产物如通快TruMicro,TruPulse,罗芬Micro-慎密加工事业群,华工半导体晶圆激光划片机,德龙激光皮秒激光精致微加工装备,姑苏天弘晶圆激光划片机和红外激光划片机等都将引领行业内前沿技巧。 激光打标技巧在晶片加工中的利用 激光打标是一种非接触、无污染、无磨损的新标志工艺。在晶片加工进程中,为了有用加强晶片的可追溯性,也为出产打点供给必然的便利,可以在晶片的特定职位地方制造激光标识码,这种技巧已经成为一种潜在的行业尺度,被普各处利用于硅资料、锗资料。 激光打标领军企业通快TruMark,罗芬Marking-打标技巧事业群,华工光纤激光打标机,沈阳新松机械人光纤激光打标机,德龙激光紫外激光精致微加工装备,姑苏天弘紫外激光打标机等将引领海内激光微加工产物的进步盼望。 激光测试技巧 激光测试技巧首要有激光三角丈量术和颗粒测试。在激光三角检测术中,用一精致聚焦的激光束来扫描圆片外貌,光学体系将反射的激光聚焦到探测器。在检测微凸点的描摹时,3D激光三角检测术在精度、速率和可检测性等方面具有显明的上风。在颗粒测试中,颗料把持是加工晶片进程和制作器件进程中主要环节,而颗粒的监测也就显得十分主要。颗粒测试装备的事变事理有两种,一种为光散射法;另一种为消光法。 3月份慕尼黑上海激光、光电展特殊开拓了“丈量测试技巧”专区,领军企业PI、海洋光学、必达泰克、爱万提斯等皆将在明春3月在慕尼黑上海激光、光电展争相竞技,一展各家之所长。
激光的奇特上风决议了其在半导体技巧中的普遍利用。已往10年来中国半导体财富跌荡放诞放诞升沉,激光技巧的使用为半导体系体例作行业注入了新的活气,对其回温暖苏醒起着功不成没的感化。跟着集成电路技巧的快速成长.激光的利用领域还会进一步拓展和延长。 # # # # 关于慕尼黑上海激光、光电展 作为中国领先的激光、光学、光电展,慕尼黑上海激光、光电展(LASER World of PHOTONICS CHINA)自2006年起每年在中国上海举行,展会汇聚行业魁首与技巧精英,全方位展现业内各类设计新鲜、科技领先的立异产物、全新有用的解定夺划和紧跟潮水的利用技巧,短短五年已敏捷生长为中国激光和光电范畴的顶级展会。2011年嘉会将有近350家来自激光出产工程、激光器及光导发光原件、光学和光学出产技巧、光信息与通讯技巧、机械视觉、测试丈量等激光、光学等范畴的国表里著名企业参展,展现面积到达#p#分页标题#e#23,000平方米。估计将吸引28,000名不都雅众前来参不都雅。德国、日本等国度展团也将再度盛年夜献演LASER World of PHOTONICS CHINA。详情见:www.laserchina.net 德国慕尼黑国际博览团体简介 慕尼黑国际博览团体是世界领先的┞饭览公司之一,每年在全球领域内举行近40个展览会,涉及行业包孕成本货色、花费品和高科技。每年有100多个国度的30,000多家企业来到慕尼黑参展,不都雅众广泛全球200多个国度和地域,总人数跨越200万。别的,团体还在亚洲、俄罗斯、南北美洲举行种种专颐魅展览会。慕尼黑在全球89个国度拥有6家子公司和66个代表处,团体收集笼罩全球。 更多信息,接待登岸网站: 慕尼黑国际博览团体:www.messe-muenchen.de 慕尼黑展览(上海)有限公司: www.mmi-shanghai.com 媒体接洽: 慕尼黑展览(上海)有限公司 王燕鸣 德律风:021-20205500*833 传真:021-20205688、021-20205699 邮箱:wang.yanming@mmi-shanghai.com
激光加工技巧在划片和割圆方面的利用 激光加工技巧在划片方面有着普遍利用。今朝行业内最多的激光划片技巧都是由激光直接感化于晶圆切割道的外貌,激光的能量使得被感化外貌的物资离开,从而到达去除和切割的目标。近期日本推出的全新观点的激光划片机摒弃了传统的外貌直接感化的做法,而采纳感化于硅基底内的硅晶体,毁坏其单晶构造的技巧,在硅基底内发生易分手的变形层,然后经由过程后续的崩片工艺使芯片间彼此分手。从而到达了无应力、无崩边、无热毁伤、无污染、无水化的切割后果。 跟着科技的不绝成长,激光加工技巧还被一些厂家利用到晶片割圆工序,加上成熟的软件把持,可以在一个晶片上加工出许多小直径晶片。较传统的割圆加工方式而言,如许操尴尬刁难晶片造成的毁伤较小,出片量相对较多。 即将在2011年3月15-17日于上海新国际博览中间┞焚开的慕尼黑上海激光、光电展上,E3、E4馆的激光加工装备展区将浮现具有必然范围的激光加工财富群,行业内各年夜高端产物如通快TruMicro,TruPulse,罗芬Micro-慎密加工事业群,华工半导体晶圆激光划片机,德龙激光皮秒激光精致微加工装备,姑苏天弘晶圆激光划片机和红外激光划片机等都将引领行业内前沿技巧。 激光打标技巧在晶片加工中的利用 激光打标是一种非接触、无污染、无磨损的新标志工艺。在晶片加工进程中,为了有用加强晶片的可追溯性,也为出产打点供给必然的便利,可以在晶片的特定职位地方制造激光标识码,这种技巧已经成为一种潜在的行业尺度,被普各处利用于硅资料、锗资料。 激光打标领军企业通快TruMark,罗芬Marking-打标技巧事业群,华工光纤激光打标机,沈阳新松机械人光纤激光打标机,德龙激光紫外激光精致微加工装备,姑苏天弘紫外激光打标机等将引领海内激光微加工产物的进步盼望。 激光测试技巧 激光测试技巧首要有激光三角丈量术和颗粒测试。在激光三角检测术中,用一精致聚焦的激光束来扫描圆片外貌,光学体系将反射的激光聚焦到探测器。在检测微凸点的描摹时,3D激光三角检测术在精度、速率和可检测性等方面具有显明的上风。在颗粒测试中,颗料把持是加工晶片进程和制作器件进程中主要环节,而颗粒的监测也就显得十分主要。颗粒测试装备的事变事理有两种,一种为光散射法;另一种为消光法。 3月份慕尼黑上海激光、光电展特殊开拓了“丈量测试技巧”专区,领军企业PI、海洋光学、必达泰克、爱万提斯等皆将在明春3月在慕尼黑上海激光、光电展争相竞技,一展各家之所长。
激光的奇特上风决议了其在半导体技巧中的普遍利用。已往10年来中国半导体财富跌荡放诞放诞升沉,激光技巧的使用为半导体系体例作行业注入了新的活气,对其回温暖苏醒起着功不成没的感化。跟着集成电路技巧的快速成长.激光的利用领域还会进一步拓展和延长。 # # # # 关于慕尼黑上海激光、光电展 作为中国领先的激光、光学、光电展,慕尼黑上海激光、光电展(LASER World of PHOTONICS CHINA)自2006年起每年在中国上海举行,展会汇聚行业魁首与技巧精英,全方位展现业内各类设计新鲜、科技领先的立异产物、全新有用的解定夺划和紧跟潮水的利用技巧,短短五年已敏捷生长为中国激光和光电范畴的顶级展会。2011年嘉会将有近350家来自激光出产工程、激光器及光导发光原件、光学和光学出产技巧、光信息与通讯技巧、机械视觉、测试丈量等激光、光学等范畴的国表里著名企业参展,展现面积到达#p#分页标题#e#23,000平方米。估计将吸引28,000名不都雅众前来参不都雅。德国、日本等国度展团也将再度盛年夜献演LASER World of PHOTONICS CHINA。详情见:www.laserchina.net 德国慕尼黑国际博览团体简介 慕尼黑国际博览团体是世界领先的┞饭览公司之一,每年在全球领域内举行近40个展览会,涉及行业包孕成本货色、花费品和高科技。每年有100多个国度的30,000多家企业来到慕尼黑参展,不都雅众广泛全球200多个国度和地域,总人数跨越200万。别的,团体还在亚洲、俄罗斯、南北美洲举行种种专颐魅展览会。慕尼黑在全球89个国度拥有6家子公司和66个代表处,团体收集笼罩全球。 更多信息,接待登岸网站: 慕尼黑国际博览团体:www.messe-muenchen.de 慕尼黑展览(上海)有限公司: www.mmi-shanghai.com 媒体接洽: 慕尼黑展览(上海)有限公司 王燕鸣 德律风:021-20205500*833 传真:021-20205688、021-20205699 邮箱:wang.yanming@mmi-shanghai.com

来源:中国激光网
#半导体#
#激光技术#
THE END
评论
文明上网理性发言,请遵守新闻评论服务协议
登录参与评论
0/1000