(文/小如)近日,洛阳单晶硅集团有限责任公司(以下简称洛单集团)年产36万片8英寸硅抛光片项目顺利下线,标志着该厂IC级8英寸硅抛光片项目成功实现量产。
该项目由洛单集团2017年6月在现有6英寸硅抛光片生产线基础上投资建设,并于今年8月试产,成功拉制出8英寸电路级单晶硅棒,进一步提升了硅片的国产化水平。
据洛阳自创区报道,络单集团通过“填平补齐”和技术升级,先后攻克了单晶拉制热场设计、多晶背封弯翘曲控制、腐蚀与抛光工艺匹配度、小粒径颗粒控制等技术难题,研究开发出了一套拥有自主知识产权的硅单晶抛光片生产工艺和技术,经过全面测试和评估,第一批8英寸硅抛光片的晶体缺陷、电学参数、几何参数、表面状态可完全满足客户的要求,使得洛单集团成为中部地区首家具备规模化生产IC级8英寸硅抛光片能力的企业。
单晶硅棒是制造芯片的原材料,8英寸单晶硅抛光片是制作16MB——64MB存储器的主要材料。据中国化工报此前报道,洛单集团总经理史建强曾表示,8英寸单晶硅抛光片项目将极大地缩小我国与国际半导体硅片行业生产水平的差距。
据悉,洛单集团是国家投资兴建的、为科研、信息产业、新能源产业提供硅材料的高新技术企业,也是国内最早的国有大型硅材料生产企业,其前身是洛阳单晶硅厂。洛单集团下属子公司麦斯克电子材料有限公司的主导产品为电路级硅单晶及硅抛光片。产品广泛用于科研、信息产业等。历年来,在国家和地方政府大力支持下,经过几次重大技术改造,生产规模不断扩大,在科研和生产上取得了一系列成果,共获得国家和省科技成果奖22项,其中自行研制成功国内第一批4、5、6英寸背封抛光片生产工艺等10多项技术。(校对/小北)