中试生产8英寸石墨烯单晶，中科院上海微系统所实验室预计9月完成建设

作者：图图 2020-06-16

来源：爱集微 #石墨烯#

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近日，中科院上海微系统所传来石墨烯的新进展，其创新实验室正在加紧建设，计划今年9月完成实验室建设，中试生产8英寸石墨烯单晶晶圆等多种产品。

图片来源：上观新闻

据悉，该实验室属于中科院上海微系统所谢晓明团队，具有中试放大功能，实验室设在上海市石墨烯功能型平台。

2019年9月，中科院上海微系统所与上海市石墨烯功能型平台签约合作，由后者的创新实验室承担中试工作，扩大石墨烯晶圆等产品的生产规模。

值得一提的是，目前，谢晓明团队团队已能制备8英寸石墨烯单晶晶圆。据上观新闻报道，中科院上海微系统所研究员吴天如表示，我们花10年工夫，终于掌握了石墨烯单晶晶圆可控制备技术，实现了4—8英寸单晶的小批量生产。

此外，中科院上海微系统所还在国际上首次实现了半导体锗基石墨烯CVD（化学气相沉积）制备，研制出4英寸锗基石墨烯晶圆。迄今为止，中科院上海微系统所在石墨烯材料制备与器件应用领域已申请100余项专利，授权70余项，其中国际专利9项。（校对/小如）

责编：赵碧莹

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