【中国IC风云榜年度最具成长潜力奖55】芯米半导体:领先的半导体制程装备与工艺解决制造商

来源:爱集微 #芯米半导体#
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【编者按】2021中国IC风云榜年度最具成长潜力奖征集现已启动!入围标准要求为营收500-1亿元的未上市、未进入IPO辅导期的半导体行业优秀企业。评选将由半导体投资联盟129家会员单位及400多位半导体行业CEO共同担任评选评委。奖项的结果将在20211月份半导体投资联盟年会暨中国IC 风云榜颁奖典礼上揭晓。

本期候选企业:芯米(厦门)半导体设备有限公司

芯米(厦门)半导体设备有限公司成立于2019年1月,总部位于厦门火炬高新(翔安)产业区,是一家领军型“双百人才落地企业”。芯米半导体以中国台湾技术合资,深耕半导体设备技术三十余年,主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,产品包含光刻制程中涂布、显影、清洗( Coater&Developer &Clean)设备及其配套,以及半导体光刻制程技术服务及整体工艺解决方案。

芯米半导体创始人尹安和先生及其团队与东京电子的合作超过25年,能够独立设计制造国外同等级设备。公司产品的核心部件自制,不受制约,具有快速、弹性的客制化能力。公司长期与国际大厂技术合作,具有丰富的制程工艺经验。

在芯片制造过程中,光刻工艺无疑是其中最核心的环节。而光刻工序中除了光刻机外,涂胶与显影设备同样发挥着关键作用。不过,在中国大陆的涂布显影机市场中,东京电子(TEL)处于绝对垄断地位,导致国产化率不足5%。

芯米半导体成立尽管只有两年的时间,但旗下团队成员多来自于TEL,丰富的行业经验和与业内晶圆厂、封测厂的长期合作关系让该公司拥有领先的制程工艺,以及对核心技术的把控能力。

据芯米联合创始人李华芳透露,芯米2020年的订单总金额达4000余万元,已交付订单实现营收约3000万。

李华芳表示,2020年至今,芯米旗下6、8英寸机台的所有核心模组都已完成验证,同时8英寸机台整机基本实现90%的进度,现已进入测试阶段。该公司已具备8英寸机台量产的能力,预计在今年3月份可以交付两套涂布显影设备,一套是新加坡Advanced Micro Foundry(AMF)公司的订单,一套是泉州(FATRI UTC)的。

到明年三四月份,如果客户的验证数据通过,芯米的6、8英寸机台整机将可以准备量产条件,对市场公开销售。

值得一提的是,芯米也是助推半导体国产化的一股中坚力量。截至目前,芯米不论是国内的加工能力,还是材料方面均能达到一台机台所需的等级。李华芳称,芯米机台机件的非国产化率已不足20%,未来有望逐步实现百分之百本土化。

与此同时,针对晶圆厂快速发展,而设备货源紧张的现况,李华芳认为,就设备国产化来讲,这至少提供了一个有利的机会。因为相对来说,涂布显影机有别于其他半导体设备。

目前国内兴建的芯片厂,特别是第三代半导体工厂多以6、8英寸制程为主。但在6英寸节点上, TEL基本已不涉足,8英寸需求则采用12英寸的降级设备,目标对象具有针对性使得机台价格较昂贵。另一方面,其二手机台的价格与去年相比甚至翻涨近2~3倍,而且一台难求。

李华芳进一步指出,目前能够做半导体前段制程的8英寸二手机台比较畅销但也较为紧缺,所以对于芯米来说这是一个较好的机会。芯米8英寸机台已经完全可以取代当前市场上最主流的美日产品,在此基础上,价格也具有绝对优势。据悉,该公司已经在和台积电(旗下8寸厂)及其他一些较知名企业洽谈8英寸设备的DEMO事宜。

不过,他也强调说,芯米做的是有“灵魂”的机台,而非简单的替代。公司致力于通过对台积电、联电、日月光和美光等企业二三十年的服务经验,及较强的客制化能力,可以赋能客户订制设备,从而提升客户的制程工艺。

展望未来,芯米计划先在2021年完成12英寸机台部分模组的开发验证。李华芳表示,如果明年6、8英寸机台的稳定性足够好,市场反响足够好,同时考虑到客户给予机会的可能,芯米可能会从如Barc和PI涂布工艺的部分,与客户进行12英寸的整机DEMO。

根据该公司的发展规划,在未来的2~3年内,芯米会持续拓展国内涂胶显影机的市场,至少6、8英寸机台能够实现对国内所需的进口二手机台替代;在第二个阶段,芯米希望完成12英寸的Barc和PI工艺的替代,在这一目标的实现上,芯米不仅具备能够生产出和美日厂商一样机台的技术能力,同时根据目前的评估,该公司可将销售价格至少控制在美日机台的50%左右;在第三个阶段,芯米的版图将不再限于6、8英寸的涂布显影机,而是整个半导体前段黄光制程的解决方案。

李华芳说,“虽然半导体制造设备国产化是一条漫长且艰难的道路。但我相信在国家陆续出台多项利好政策和引导,以及社会及产业界的各方支持下,芯米愿意成为在这条路上始终坚定而努力追梦的人,芯米将尽自己的全力为“中国芯”贡献一份力量”。

(校对/零叁)

责编: 刘燚
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