泛林集团状告韩国设备商“斜面蚀刻机”侵权

图源：PSK

集微网消息，美国半导体设备巨头泛林集团（Lam Research）声称，韩国设备制造商PSK的斜面蚀刻机侵犯了其相关专利，并通过韩国当地一家律师事务所向PSK发出律师函。此举或导致两家公司之间旷日持久的专利诉讼。

据韩媒theElec报道，斜面蚀刻机被用于去除硅片斜面上的金属和非金属薄膜，在300mm（12英寸）晶圆制造和先进微加工中能有效提高成品率，因此需求量很大。知情人士表示，全球斜面蚀刻机市场价值约3000亿韩元（合16.8亿元人民币）。

韩国公司Sossl拥有与斜面蚀刻机相关的技术，该公司后来被韩国设备厂商Charm Engineering收购，后者又在2011年将相关业务部门卖给了泛林集团。在斜面蚀刻机方面，泛林集团一直占据垄断地位，直到PSK最近开发了自己的斜面蚀刻机。

PSK此前一直专注于供应光刻胶剥离机和干洗机。据韩国分析人士预计，通过向客户提供斜面蚀刻机，PSK将获得高达30%的市场份额。PSK据称已经获得SK海力士的设备订单，而三星正在对该设备进行测试。

上述知情人士表示，自收到律师函后，PSK一直在讨论该如何应对。公司需要开发一种变通技术，否则诉讼将无法避免。

（校对/小山）