日韩两地齐增产 住友化学ArF用光刻胶扩产1.5倍

图源：WBCSD

集微网消息，为应对当地芯片厂需求，日本大厂住友化学拟在韩国兴建先进半导体材料厂房，生产应用于最先进制程的光刻胶，同时在日本增加新产线，整体最先进制程用光刻胶产能有望扩增1.5倍。

据MoneyDJ报道，住友化学8月31日宣布，将加强最先进制程用光刻胶生产，计划在日本大阪工厂增设ArF及EUV用光刻胶产线，预计在2023年上半年启用生产。同时，其位于韩国益山市的全资子公司Dongwoo Fine-Chem也将兴建浸润式ArF用光刻胶产房，预计在2024年上半年启用生产。

若上述计划进展顺利，到2024年，住友化学整体最先进制程用（ArF）光刻胶产能将较2019年提高1.5倍。

据了解，住友化学ArF用光刻胶目前仅由日本大阪工厂生产，由于在性能、品质上具有优势，全球市占率高，而韩国的Dongwoo Fine-Chem工厂此前为公司i线、KrF用光刻胶生产据点，拥有20年以上的生产经验。

据日经新闻报道，此次住友化学决定在韩国兴建ArF用光刻胶工厂，是为因应当地客户希望其分散生产，借此稳定供货给韩国芯片厂使用。需要指出的是，此次住友化学增产的光刻胶产品不在日本对韩国出口管制的清单内。

（校对/小山）