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日韩两地齐增产 住友化学ArF用光刻胶扩产1.5倍

来源:爱集微

#光刻胶#

#住友化学#

09-01 17:26

图源:WBCSD

集微网消息,为应对当地芯片厂需求,日本大厂住友化学拟在韩国兴建先进半导体材料厂房,生产应用于最先进制程的光刻胶,同时在日本增加新产线,整体最先进制程用光刻胶产能有望扩增1.5倍。

据MoneyDJ报道,住友化学8月31日宣布,将加强最先进制程用光刻胶生产,计划在日本大阪工厂增设ArF及EUV用光刻胶产线,预计在2023年上半年启用生产。同时,其位于韩国益山市的全资子公司Dongwoo Fine-Chem也将兴建浸润式ArF用光刻胶产房,预计在2024年上半年启用生产。

若上述计划进展顺利,到2024年,住友化学整体最先进制程用(ArF)光刻胶产能将较2019年提高1.5倍。

据了解,住友化学ArF用光刻胶目前仅由日本大阪工厂生产,由于在性能、品质上具有优势,全球市占率高,而韩国的Dongwoo Fine-Chem工厂此前为公司i线、KrF用光刻胶生产据点,拥有20年以上的生产经验。

据日经新闻报道,此次住友化学决定在韩国兴建ArF用光刻胶工厂,是为因应当地客户希望其分散生产,借此稳定供货给韩国芯片厂使用。需要指出的是,此次住友化学增产的光刻胶产品不在日本对韩国出口管制的清单内。

(校对/小山)

责编: 乐川

思坦

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半导体产业观察者

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