【采购】之江实验室FeFET晶体管阵列流片项目采购，拟定中科院微电子所

作者：项睿 2022-05-13

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集微网消息，5月13日，之江实验室发布FeFET晶体管阵列流片（ZJLAB-JZ-DY2022008）单一来源公示，拟定中国科学院微电子研究所为供应商，预算金额131.97万元。

根据公示，之江实验室FeFET晶体管阵列流片需扩大规模为16Kbit，为改进阵列设计，提升阵列一致性，需再次验证流片。中国科学院微电子研究所具有成套标准8英寸半导体流片工艺，采用体硅HKMG工艺，可以进行HZO的沉积，是唯一满足FeFET阵列功能验证需求的供应商。

（校对/若冰）

责编：韩秀荣

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