东方晶源两款电子束量测检测设备交付新客户

集微网消息，近日，东方晶源积极组织设备交付工作，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海客户。

据悉，本次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除具备高灵敏度电性和物理缺陷检测、解决28nm及以上良率问题、自主创新的高性能缺陷检测引擎（DNA数据库）、基于深度学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品特点外，还在上一代产品的基础上优化升级，具有更高的TPT和更优的平台设计，设备运行效率、性能指标均有大幅提升。

另一台交付的产品为关键尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，通过电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。

东方晶源成立于2014年，主要产品为纳米级电子束缺陷检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）、计算光刻产品（OPC）以及微电子设计与制造智能良率优化平台（HPOTM）。据悉，去年6月份，其首台12英寸CD-SEM出机；今年4月份，首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机。（校对/小如）