陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台在西安启用

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集微网消息,3月30日,陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台在西安启用。

中科创新消息称,该平台具备光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺,将为光子产业项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务。

先进光子器件工程创新平台占地30亩,总建筑面积约30000平方米,洁净厂房3000平方米,一期专业设备100余台(套),具备以GaAs(砷化镓)、GaN(氮化镓)为主线,围绕6英寸化合物芯片工艺服务能力的柔性中试平台;同时,为光电芯片、功率器件、射频器件等芯片设计企业、高校、科研院所提供外延生长、光刻、刻蚀、薄膜制备、清洗、减薄、抛光、划片等芯片制造全流程服务。

2015年10月,陕西省科技厅、西安高新技术开发区与中国科学院西安光机所联合西科控股、中科创星发起成立陕西光电子先导院。陕西光电子先导院先进光子器件创新平台系陕西省2022年重点建设工程。(校对/赵碧莹)

责编: 赵碧莹
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