近日，机器人在接受机构调研时就半导体装备业务进展情况表示，目前半导体领域内相关产品的市场大部分由美国Brooks、日本Rorze等国外厂商占据，公司真空机械手等产品初始立项旨在解决该领域的国产化需求问题，公司始终以产业安全，实现自主可控为目标，逐步攻克技术难关，是国内最早能做到半导体机械手产品产业化的公司。
据介绍，机器人半导体业务产品主要为真空机械手及集束型设备，包括：大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台。服务的下游行业是半导体工艺设备厂商，主要客户包括北方华创、中微半导体、屹唐股份、拓荆科技、华海清科等。
2022年度，机器人在真空机械手方面，两轴真空直驱机械手产品已实现小批量、多批次应用在客户端；三轴真空直驱机械手产品处于客户端验证阶段，其结合全新控制器软硬件平台的应用，可支撑下游客户的长期应用；四轴真空直驱机械手产品处于研发阶段。
目前，机器人EFEM产品的三大部件，即大气机械手、ALIGNER、Loadport/SMIF产品已全面实现自主设计。机器人二轴和三轴机械手产品系与国际厂商竞争的主流产品，后续进入批量销售阶段之后，会有较大的进口替代空间。机器人表示，未来伴随着半导体行业外部环境导致的国产替代机会仍会持续，公司也会为业务释放提前布局产能。半导体领域设备导入壁垒较高，一般导入周期在六个月至一年。
另据披露，该公司的机器人应用技术涵盖了工业机器人焊接自动化，装配自动化，物流自动化，可为汽车（包括新能源汽车）、半导体、锂电、电子、光伏、航天航空及医疗等众多行业提供整体解决方案。2022年度，各类工业机器人销量合计3,333台，其中移动机器人销量1,641台，销量同比略有波动，但订单规模和质量有所提升使得工业机器人本体价值量有所提高。
（校对/占旭亮）
