众硅科技 “一种用于CMP清洁干燥模组的检测装置及检测方法”专利公布

集微网消息，天眼查显示，杭州众硅电子科技有限公司“一种用于CMP清洁干燥模组的检测装置及检测方法”专利公布，申请公布日为2024年3月8日，申请公布号CN117672892A。

本发明公开了一种用于CMP清洁干燥模组的检测装置，包括光发生单元；光接收单元；晶圆夹持单元，用于夹持晶圆并可带动其旋转，位于光发生单元和光接收单元之间，且部分处于光束或光幕内，该晶圆夹持单元至少具有闭合、张开状态；数据处理单元，用于获取光束或光幕被晶圆和/或晶圆夹持单元遮挡后在光接收单元产生的投影信息，并依据投影信息判断晶圆夹持单元是否夹持有晶圆和/或判断晶圆夹持单元所夹持的晶圆是否水平和/或晶圆夹持单元的状态信息。本发明还公开了一种用于CMP清洁干燥模组的晶圆检测方法。本发明将晶圆有无检测、晶圆水平检测和晶圆夹持单元状态检测结合，提高了清洁干燥装置对晶圆是否正确放置的检测效率。