天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺设备及其运动部件的控制方法和装置”的专利，授权公告号为CN113488410B，授权公告日为2024年7月23日，申请日为2021年6月25日。
本申请公开一种半导体工艺设备及其运动部件的控制方法和装置，其中控制方法包括：获取当前动作任务，所述当前动作任务包括多个子动作对象；确定当前子动作对象和待执行子动作对象，所述待执行子动作对象被配置为在所述当前子动作对象之后执行；控制与所述当前子动作对象关联的当前运动部件执行所述当前子动作对象；在执行完所述当前子动作对象之后，确定与所述待执行子动作对象关联的待用运动部件；在所述待用运动部件不包括所述当前运动部件时，将所述当前运动部件的运动状态设置为可用。其可以提高运动部件的利用率，缩短相应动作任务的执行时间，从而缩短工艺任务的总执行时间，提高相应机台产能。
