北方华创:公司自研射频电源已批量应用于多款产品

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9月8日,北方华创在互动平台表示,随着近年来国内零部件供应商能力快速提升,公司国内采购比例也逐年增加,公司自研的射频电源已经批量应用于多款产品上。

据悉,北方华创产品线不断创新和完善,平台化布局加速发展。公司成功研发出高密度等离子体化学气相沉积(HDPCVD)、双大马士革CCP 刻蚀机、立式炉原子层沉积(ALD)、高介电常数原子层沉积(ALD)等多款具有自主知识产权的高端设备,并在多家客户端实现稳定量产。

同时,公司在先进封装领域进行了全面布局,可提供TSV(硅通孔)制造、正面制程-大马士革工艺、背面制程-露铜刻蚀和RDL(再布线层)工艺的全面解决方案,涉及刻蚀、薄膜、炉管、清洗四大类二十余款装备工艺解决方案。



责编: 黄仁贵
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