【IC风云榜候选企业10】车仪田:把握核心自主技术,重磅推出NDIR气体浓度仪

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【编者按】自2020年举办以来,IC风云榜已成为半导体行业的年度盛事。今年新增12项奖项,共设39项大奖,进一步关注半导体投资与退出、科技前沿领域贡献、项目创新以及技术“出海”与拓展。评委会由超过100家半导体投资联盟会员单位及500+行业CEO组成。获奖名单将于2025半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼上揭晓。

候选企业】上海车仪田科技有限公司(以下简称:车仪田)

候选奖项】年度优秀创新产品奖、年度最佳解决方案奖

候选产品】NDIR气体浓度仪

半导体设备是半导体产业的重要组成部分,它的发展水平和技术水平直接影响着半导体产业的发展和竞争力。根据市场研究机构数据,全球半导体设备市场规模预计到2025年将达到800亿美元。中国近年来加大对半导体产业的投资和支持,成为全球半导体设备市场的重要增长点。

车仪田成立于2022年6月,专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统,公司团队成员拥有近二十年的半导体产品产业化经验,是国内半导体设备龙头公司的光电类供应商战略合作伙伴。

车仪田在等离子体光谱分析、高精度温度测量及控制、气体液体浓度分析等技术领域都有重大技术突破,提供在线式检测零部件和子系统,应用在半导体设备上参与核心工艺过程。应用领域几乎覆盖半导体芯片制造的全部工艺制程,包括刻蚀去胶工艺、薄膜沉积外延工艺、热处理工艺、清洗工艺等。

车仪田的产品OES终点检测系统、IEP刻蚀终点检测系统、NDIR气体浓度仪、RTC原位测量系统等均已应用到一线Fab晶圆厂,其中OES终点检测系统、IEP刻蚀终点检测系统已经实现Fab晶圆厂大规模应用。

在具体产品和解决方案方面,车仪田重磅推出了NDIR(Non-Dispersive Infrared,非分散红外)气体浓度仪,应用于工业级领域。

此次候选年度优秀创新产品奖的是NDIR气体浓度仪,一种非色散红外光谱吸收仪器,根据朗伯比尔吸收定律,通过检测清洗工艺过程中氟化物或者其他特定气体的浓度变化,来判断腔体是否清洗干净。在机台上安装使用,可有效防止清洗不干净和过度清洗。

该NDIR气体浓度仪产品拥有以下核心技术:

一、光源,用于产生探测光束;光源是宽波段远红外光源,波长范围为2μm至20μm。

二、气路管道,用于将装置与设备前端尾排管道连通;气路管道包含两个标准NW25法兰接口。

三、探测器,用于检测光源经待测气体吸收后所发出光线的探测图形;探测器主要包括滤波片和热敏芯片探测元;

四、自动终点检测功能。下位机程序具有两种自动终点抓取功能。

该产品创新点如下:

1.装置方向:多通道非分散性红外(NDIR)浓度仪,光程600mm(长程),光源处于远红外波段10-20μm。

2.装置特点:准直光路,消除杂散光,提高能量利用率。D工艺处理,用于辨别低浓度气体,增强小浓度气体的检测精准检测;F工艺处理,防止半导体中的腐蚀气体损坏气体通道,提升检测精准度。

据了解,车仪田NDIR气体浓度仪产品已应用于多家头部半导体设备企业的CVD镀钨腔体清洗检测、CVD镀硅腔体清洗检测等方面。

车仪田凭借其创新实力,荣获2024年上海市第一批高新技术企业、创新型中小企业及科技型中小企业的殊荣。展望未来,车仪田将继续加大在产品量产和新技术研发方面的投入,致力于在半导体设备零部件领域推动国产化进程,以实现更多产品的自主替代。

【奖项申报入口】

2025半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼将于2024年12月举办,奖项申报已启动,目前征集与候选企业/机构报道正在进行,欢迎报名参与,共赴行业盛宴!

【年度优秀创新产品奖】

旨在表彰补短板、填空白或实现国产替代,对于我国半导体产业链自立自强发展具有重要意义的企业。

【报名条件】

1、深耕半导体某一细分领域,近一年内实现新产品的研发及产业化;

2、产品的技术创新性强,具有自主知识产权,产生一定效益,促进完善供应链自立自强;

【评选标准】

技术或产品的主要性能和指标;(30%)

技术的创新性;(40%)

产品销量情况;(30%)

【年度最佳解决方案奖】

“年度最佳解决方案奖”是专为那些能够为行业提供高品质、创新性解决方案,且其产品已获得行业客户广泛认可和好评的企业而设立的。作为企业的“明星方案产品”,通过“IC风云榜-年度最佳解决方案奖”的评选加持,更将进一步提升了其在市场上的知名度,并在技术层面加强了市场对它们的青睐与认可。

【报名条件】

1、提供申报《方案》的市场情况及市场反馈,需要行业大客户采购或行业多客户采购清单,客户名称可以是代号形式;

2、企业的产品得到市场验证,至少有1款产品已经实现大规模应用;

【评选标准】

1、评委会由“半导体投资联盟”超100家会员单位及数百位半导体行业CEO共同组成;

2、每位评委限投5票,最终按企业得票数量评选出“年度最佳解决方案奖”;

(校对/张杰)

责编: 李梅
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孙乐

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