2026年03月19日，中微半导体发布《关于作废处理2023年限制性股票激励计划剩余全部限制性股票的法律意见书》。根据意见书，2023年4月24日至2023年6月19日，公司就2023年限制性股票激励计划履行了一系列审批程序。2026年3月18日，公司召开第三届董事会第七次会议，审议通过作废处理剩余全部限制性股票的议案。
本次作废处理原因是公司2025年年度业绩考核不达标。该激励计划考核年度为2023 - 2025年，对营业收入和毛利润进行考核。2025年公司营业收入总额1122150053.86元，未达20亿元；毛利润总额384692529.71元，未达7亿元，均未达业绩考核目标。因此，剩余全部2008210股限制性股票不得归属，由公司作废处理。律师认为，本次处理已取得必要授权和批准，符合相关规定，公司尚需履行信息披露义务。
