6月15日，安徽凌光红外科技有限公司LUXET VERITAS微光显微镜及激光诱导电阻变化（EMMI+OBIRCH）二合一显微镜正式全球首发。本次活动汇聚中国工程院院士、中国科学院合肥物质科学研究院学术委员会主任刘文清、合肥市科技局局长范进、国际半导体产业协会（中国区）总裁冯莉女士、合肥高新区党工委委员、管委会副主任王俊生、中科院合肥物质院安徽光机所研究员、安徽省光学学会秘书长谢品华、合肥高新区科技局局长刘绪勇、科大硅谷服务平台有限公司董事长吴海龙，高校专家、产业链客户、投资机构及行业媒体等百余位嘉宾，在合肥高新区工投智谷学术报告厅共同见证国产半导体装备的全新突破。这款国内首创的集成化电性失效分析设备，标志着凌光红外跻身全球第五家掌握该类产品核心技术并成功量产的企业，产品综合性能对标国际头部品牌，位居全球前二，将有力破解我国高端半导体检测设备“卡脖子”难题，为集成电路产业自主可控注入强劲动能。
图1：发布会现场图
当前，全球半导体产业步入先进制程时代，芯片内部结构愈发精密复杂，电性失效分析成为芯片研发迭代、良率提升与品质保障的核心环节。长期以来，国内高端芯片失效分析设备市场被日本滨松、美国赛默飞等海外企业垄断，进口设备采购成本高昂、交付周期漫长，还存在售后响应滞后，迭代更新速度较慢等问题。在此背景下，凌光红外深耕光学成像与精密检测领域，坚持正向研发，持续攻关电性失效分析核心技术，接连推出锁相红外显微镜、微光显微镜、激光诱导电阻变化显微镜等系列产品，多项性能指标超越国际同类产品。此次推出的二合一集成设备，打破了十数年来零国产的困境。
图2：LUXET VERITAS微光显微镜及激光诱导电阻变化（EMMI+OBIRCH）二合一显微镜
据凌光红外CTO沈金辉博士现场介绍，LUXET VERITAS二合一显微镜深度融合EMMI微光检测与OBIRCH激光诱导电阻变化两大主流失效分析功能，一机两用、高度集成，全面覆盖半导体全链条检测需求。在核心硬件与性能参数上，设备搭载深度制冷近红外相机与大口径自研1.35倍物镜，EMMI模块可精准定位纳安级微弱漏电，高效识别PN结击穿、闩锁效应、栅极氧化层漏电、多晶硅缺陷等典型失效问题；OBIRCH模块采用1300nm标准激光波段、500mW额定功率，可实现pA级超高精度电流放大测量，精准排查金属线路、导通孔、接触孔阻值异常等隐蔽缺陷。设备标配多个倍率显微物镜组，搭配超高精度XYZ运动平台与双面探针台，支持大尺寸样品无缝图像拼接，可适配不同尺寸、不同材质、不同厚度的芯片样品，广泛应用于晶圆制造、先进封装、存储芯片、功率器件等多个场景。
图3、4：LUXET VERITAS应用场景图
热点图和实物图的叠加
相较于传统单一功能设备，该二合一设备优势体现在保证两大模块独立高精度运行的同时，大幅降低设备占地面积与综合采购成本，简化检测流程，提升芯片失效分析效率。从技术实力来看，该产品核心性能比肩日本滨松等国际顶尖品牌，部分检测灵敏度、平台运动精度等指标实现超越，是国产半导体检测装备追赶并部分引领国际水平的标杆产品。
图5：凌光红外新品发布仪式
图6：凌光红外与季丰电子签约
图7：凌光红外和国仪量子、三英精密签约
发布会现场还举行了隆重的新品发布仪式与战略合作签约仪式。在刘文清院士、市科学技术局局长范进、高校专家、企业代表的共同见证下，LUXET VERITAS设备正式面向市场发布。凌光红外与季丰电子完成签约，双方未来将携手推进凌光红外电性失效分析设备在半导体第三方实验室领域的应用。随后，凌光红外和国仪量子、三英精密也签署了市场合作协议，共同推进国产失效分析设备在中国半导体行业的规模化应用。
值得一提的是，本次活动共有至少七家头部第三方实验室技术负责人到场，充分表明了凌光红外的行业认可度及高端电性失效分析设备国产化的关注度。在互动问答环节，技术团队针对设备技术原理、应用场景、定制化服务、技术迭代规划等问题，与现场嘉宾展开深入交流，获得行业客户与专家的高度认可。最后，全体嘉宾前往凌光红外生产基地参观考察，实地了解设备生产工艺、质控体系与研发环境。
图8：工厂参观照片
作为扎根合肥、服务安徽科创发展的本土科创企业，凌光红外此次新品落地，也是助力合肥市“6+5+4+X”战略性新兴产业体系建设、赋能“科大硅谷”发展的重要实践。除半导体电性失效分析设备外，公司还布局热导率检测，热阻检测，显微测温，硅光芯片检测等多条产品线，持续为新材料、光电、高端制造等领域提供高端检测仪器。业内人士表示，当前国内半导体产业加速国产化进程，高端检测设备需求持续攀升，LUXET VERITAS二合一显微镜的推出，不仅解决了芯片失效分析领域的设备痛点，也为国内半导体实验室、封测企业、芯片设计公司提供了高性价比的国产化替代选择。
随着国产设备替代节奏不断加快，凌光红外将围绕“光”，“热”两个主题持续深耕光学精密检测赛道，坚持技术自主创新，不断迭代产品性能、拓展应用场景，以硬核科技助力我国半导体产业链供应链安全稳定，同时依托合肥优良的科创生态，集聚产业资源，打造具有全球竞争力的国产科学仪器品牌，为安徽省建设科技创新策源地贡献更大力量。
