开发MEMS液体流量传感器等产品 原位芯片获数千万元A轮融资

集微网消息，据36氪报道，近日，原位芯片宣布完成数千万元A轮融资，由红杉中国种子基金领投，老股东持续加持。本轮资金主要用于扩充技术团队和增加相应设备，从而加速MEMS液体流量计、MEMS微泵的产业化进程。

此前，原位芯片已完成多轮融资，投资方包括SEE Fund无限启航基金、凯风创投、中科创星等。

原位芯片成立于2015年，由清华大学和中科院微电子专业人士共同创立，专注于新型MEMS芯片与模组的研发、生产和销售。以自研的MEMS芯片为核心，开发MEMS液体流量传感器、微泵等产品，此外，还提供氮化硅膜窗口产品和微纳流片代工服务。

原位芯片可用于观测液体环境的氮化硅薄膜观测窗口，更是打破国际垄断，成为少数拥有生产液体芯片的公司之一。

值得一提的是，据原位芯片3月消息，原位芯片的氮化硅膜窗口为武汉理工大学研究P掺杂氧化物在电化学活化过程中电导的连续演化提供了助力。（校对/若冰）