复旦大学半导体装备核心零部件产业化项目落地上海宝山

作者：姜羽桐 2022-03-03

来源：爱集微 #上海宝山# #复旦大学# #杨晓峰#

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3月2日，上海市超精密运动控制与检测工程研究中心与上海宝山区淞南镇政府签约，复旦大学半导体装备核心零部件产业化项目落地宝山。

据悉，项目由复旦大学教授、上海市超精密运动控制与检测工程研究中心主任杨晓峰领衔，是2021年宝山复旦科创中心首批落地的8个重大创新项目之一，依托上海市超精密运动控制与检测工程研究中心，聚焦于半导体装备及其它高端装备核心部件的技术研发、产业化。（校对/小如）

责编：韩秀荣

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