复旦微电子学院卢红亮课题组在柔性氧化镓光电探测器方面取得研究进展

集微网消息，近日，复旦大学微电子学院卢红亮教授团队首次在聚酰亚胺（PI）基板上制备了全柔性的高性能β-Ga₂O₃光电晶体管，实现超灵敏的深紫外光探测率。

相关工作在npj Flexible Electronics杂志上发表，微电子学院教授卢红亮、张卫，研究员杨迎国为通讯作者，博士研究生李晓茜为第一作者。

复旦大学微电子学院消息称，由于该光电晶体管展现出的优异光电、机械特性，团队将制备的器件与人工神经网络结合，验证了其超出人眼探测范围的图像识别能力，这为仿生机器人的紫外视觉应用带来了提升的可能性。这些研究结果表明，高性能全柔性Ta掺杂β-Ga₂O₃紫外光电晶体管在未来可穿戴光电、紫外成像和人工智能等领域具有巨大的应用潜力。

据悉，此项研究得到科技部重点研发计划、国家自然科学基金、上海市自然科学基金的资助以及专用集成电路与系统国家重点实验室的支持。（校对/Vinson）