近日，北方华创500台12英寸立式炉出厂。
北方华创消息称，这不仅标志着其12英寸立式炉已成为国内主流客户量产优先选择的设备，更是客户对NAURA 12英寸立式炉性能与品质广泛认可的充分证明。
目前，北方华创已形成包括氧化、退火、薄膜沉积等共23种系列化立式炉设备，基本实现立式炉工艺全覆盖。其立式炉具备高精度的温度控制能力，良好的成膜均匀性能力，及先进的金属及颗粒污染控制技术等特点，广泛应用于逻辑、存储、功率、特色工艺、大硅片生产等半导体领域，是国内及东南亚12英寸主流生产线的量产主力设备。
据悉，北方华创由北京七星华创电子股份有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司战略重组而成，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。（校对/姜羽桐）
