北方华创“晶圆清洗设备及其晶圆定位装置、晶圆定位方法”专利获授权

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天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“晶圆清洗设备及其晶圆定位装置、晶圆定位方法”的专利,授权公告号为CN113539918B,授权公告日为2024年5月17日,申请日为2021年6月30日。

本发明提供一种晶圆清洗设备及其晶圆定位装置、晶圆定位方法,晶圆定位装置用于对边缘设有定位部的晶圆进行定位,包括密封腔体、密封盖、承载组件、定位组件和导向组件,密封盖可开合的设置在密封腔体上,承载组件可转动的设置在密封腔体内,用于承载晶圆,并带动晶圆以晶圆的轴线为轴旋转;定位组件设置在密封腔体内,用于在承载组件带动晶圆旋转的过程中,与定位部配合对晶圆进行定位;导向组件设置在密封腔体内位于承载组件的上方,用于与承载于承载组件上的晶圆的边缘部分间隙配合对晶圆进行导向。本发明提供的晶圆清洗设备及其晶圆定位装置、晶圆定位方法能够提高晶圆定位装置的工作稳定性,并避免晶圆在定位过程中以及定位之后受到污染。

责编: 赵碧莹
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