3M公司近日宣布将彻底退出被称为“永久化学品”的全氟及多氟烷基物质（PFAS）的生产，并努力在2025年底前在其产品组合中完全停止使用PFAS，因为有关这些化学品会对健康和环境造成影响。在半导体制造中，所需的冷却剂也属于PFAS产品，而3M则是全球半导体冷却剂的最大供应商，此举或将为半导体制造业带来较大影响。
3M首席执行官迈克•罗曼（Mike Roman）表示，这一决定受到了两方面因素的影响：一是对这种化学物质的监管日益加强，二是市场对替代选择的需求正不断增长。
在半导体制造过程中，所需的冷却剂（电子级氟化液）也属于PFAS产品，它被广泛用于半导体蚀刻设备、离子注入设备、化学气相沉积（CVD）设备的恒温冷却。虽然半导体制造业对于半导体冷却剂的消耗量并不算高（冷却剂虽可以循环使用，但会一点一点地泄漏），但随着半导体制造产能的持续增长，对于半导体冷却剂需求将持续增加。3M在全球半导体冷却剂市场也一直居于垄断地位，其宣布到2025年底，将停止生产所有含氟聚合物、含氟液体和基于PFAS的添加剂产品，并将在2025年底前停止在其所有产品中使用PFAS，这或将为半导体制造行业带来冲击。
据悉，全氟烷基和多氟烷基物质（PFAS）通常被俗称为“永久化学品”，因为它们需要很长时间才能在自然环境中被分解。
但由于PFAS具有极其稳定的化学结构和独特的化学特性，兼具防水性及防油性，长久以来都极为受到制造商的青睐。自20世纪40年代以来，PFAS已在全球多个行业制造和使用。人们可以在以下常用的产品中找到PFAS的身影：如不粘炊具、去污剂和防水剂、油漆、清洁产品、食品包装以及消防泡沫等。
（校对/李梅）
